Компания Nikon недавно объявила о выпуске новой литографической системы FPD FX-6AS, которая предназначена для изготовления плоских панелей малого и среднего размера. По мнению Nikon, FX-6AS — оптимальная система для производства панелей на органических светодиодах (OLED) и ЖК-панелей высокого разрешения для мобильных устройств, включая смартфоны.
Как утверждается, благодаря недавно разработанному проекционному объективу FX-6AS характеризуется высочайшим разрешением, высокой точностью совмещения и высокой пропускной способностью. В FX-6AS используется источник света i-line, используемый и в существующих моделях. Это позволяет производить панели высокого разрешения в больших объемах без изменения отлаженных производственных процессов.
Разрешение системы равно 1,2 мкм, точность совмещения — в пределах ± 0,23 мкм. Эта литографическая система рассчитана на изготовление панелей по технологии LTPO (низкотемпературный поликристаллический оксид) с использованием подложек размером G6 (1500 x 1850 мм). Время обработки одной пластины — 42 с. Технология LTPO позволяет изготавливать панели высокого разрешения, поддерживающие высокую частоту обновления и имеющие низкое энергопотребление.
Продажи Nikon FPD FX-6AS должны начаться в начале ноября этого года.
